影像测量仪是一种利用光学显微镜对待测物体进行放大成像，再由CCD摄像系统将放大后的被测物体影像传送给与仪器相连接的计算机，然后用以非接触、高效检测到各种复杂工件几何量的设备。
 
在实际测量过程中，影像测量仪测量的工件不都是光滑的，也有一些比较粗糙的工件会被需要用来测量，一般来说光滑的工件成像会比较清晰，因此也会比较好得出精确的测量结果，而粗糙的工件则有所不同，成像可能会不清晰，也会从各种方面影响到测量的结果，因此在测量粗糙时影像测量仪需要采取相应的方法来进行，才可以得到准确的结果。
 
一般来说影像测量仪在测量粗糙工件时可以采用以下三种方法，分别是印模法、干涉法和光切法三种。印模法是指工件在测量之前使用石蜡或者一些低熔点的合金等印模材料，将其印在被测量的工件的表面，然后再将其放置到影像测量仪的显微镜下进行测量，这种方法虽然可以很好的测量出结果，但是也有一定的局限性，主要适用于大型或者重量较大的工件。
 
干涉法是指利用影像测量仪的光波干涉原理，然后使用干涉显微镜进行具体的尺寸测量。光切法也是同样利用影像测量仪的光切原理进行的，最后使用设备的双管显微镜进行相关的测量。